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该设备主要用于金刚石材料的刻蚀,要求实现快速的、高选择比、高各项异性、低损伤的金刚石刻蚀。. 技术指标 :. ICP 离子源:3 kWRF功率:600 W. 晶片尺寸:最大 6 英寸. 工艺温度:-150℃到400℃. 工艺气体:O2
5 人 赞同了该回答. Source Power, 源功率 ,加在上电极. Bias Power, 偏置功率 ,加下电极,即硅片侧. 通过控制Bias Power,即偏置功率,可以增强 等离子体 的方向性,改变刻蚀过程中的
2022年2月16日 本文利用单晶石英板(Z-cut)中CF4 + H2气体混合物中大线性尺寸(3 × 10 m)窗口的等离子体化学蚀刻实验结果,首次确定了主要工艺参数(室压、射频发生器功率
当 激 光 功 率 较 小 时 , 刻 蚀 宽 度 可 以 小 于 聚 焦 光 斑 直 径 ( 2 如 图 9( a) 所 示 , 在 功 率 为 3W 时 , 0μm), 刻 蚀 宽 度 只 有 1 5. 4 6μm; 随 着 激 光 功 率 的 增 大 , 实 际 刻
1.要注意雕刻机的功能,雕刻机的雕刻电机有大功率和小功率之分。有些雕刻机功率较小只适合做双色板、建筑模型、小型标牌、三维工艺品等材料的加工,这种工艺已流行一段时
ICP 功率:5 kWRF功率:300 WLF功率:300W. 晶片尺寸:最大 6 英寸工艺温度:-150℃~110℃工艺气体:C4F8、SF6、O2、Ar. 刻蚀材料:硅、SOI. 品牌型
2022年1月20日 摘要 金刚石具有优良的物理和电子性能,因此使用金刚石的各种应用正在开发中。此外,通过蚀刻技术控制金刚石几何形状对于这类应用至关重要。然而,用于蚀
2012年3月14日 等离子切割机200A的都算是大功率的了。. 等离子弧切割机 (Plasma Cutting Machine)是借助等离子切割技术对金属材料进行加工的机械。. 等离子切割是利用高温等
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